Đại học Bách khoa Hà Nội

https://hust.edu.vn

Bộ vi dịch chuyển ba chiều, hệ thống khắc và in mẫu kích thước micro/nano

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp: 11/11/2022
Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến hệ thống khắc và in mẫu ba chiều kích thước nano bao gồm: mũi nhọn khắc (1) được bố trí trên một đĩa (2), mũi nhọn khắc (1) và đĩa (2) được treo trên khung vi cơ (4) qua hệ thống lò xo vi cơ (3), khung vi cơ (4) được treo trên khung (6) thông qua hệ thống lò xo vi cơ (5), khung vi cơ (4) có khả năng chuyển động theo phương y bởi chấp hành tĩnh điện răng lược (7), toàn bộ khung vi cơ (6) được nối tới đế cố định qua hệ thống lò xo vi cơ (8), hệ thống lò xo vi cơ (8) có tác dụng làm cho khung (6) chuyển động theo phương x với bộ chấp hành tĩnh điện răng lược (9). Hệ thống đĩa (2) có thể dịch chuyển theo phương z vuông góc với trục x và y bởi chấp hành tĩnh điện dạng đĩa song song và hệ thống lò xo vi cơ (3).
Bạn đã không sử dụng Site, Bấm vào đây để duy trì trạng thái đăng nhập. Thời gian chờ: 60 giây