Các kênh dẫn sóng plasmon tùy biến đặc trưng truyền và phương pháp chế tạo các kênh dẫn sóng này
- Thứ ba - 23/06/2026 03:24
- In ra
- Đóng cửa sổ này
Tác giả chính: GS.TS. Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp văn bằng: 15/06/2026
Tóm tắt:
Sáng chế đề cập đến phương pháp cho chế tạo các kênh dẫn sóng plasmon tùy biến đặc trưng truyền với các thành phần kênh điện môi dẫn sóng quang tử, kênh tùy biến chỉ số khúc xạ, cầu nối quang, các điện cực chấp hành, lò xo vi treo và kênh kim loại dẫn sóng plasmon dựa trên vi cơ phiến silic đơn tinh thể chuẩn; cấu trúc kênh điện môi dẫn sóng quang tử có thể có mặt cắt ngang bất kỳ khi sử dụng công nghệ ăn mòn ướt hoặc ăn mòn khô. Kênh kim loại dẫn sóng plasmon được chế tạo sử dụng các kỹ thuật lắng đọng như phún xạ, lắng đọng bằng chùm tia điện tử, v.v. trực tiếp trên kênh điện môi dẫn sóng quang tử để tạo khe hẹp dẫn sóng plasmon lai. Kênh kim loại dẫn sóng plasmon được treo bằng màng cơ học làm từ vật liệu như silic đa tinh, S3N4. Kênh dẫn sóng plasmon tùy biến đặc trưng.
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp văn bằng: 15/06/2026
Tóm tắt:
Sáng chế đề cập đến phương pháp cho chế tạo các kênh dẫn sóng plasmon tùy biến đặc trưng truyền với các thành phần kênh điện môi dẫn sóng quang tử, kênh tùy biến chỉ số khúc xạ, cầu nối quang, các điện cực chấp hành, lò xo vi treo và kênh kim loại dẫn sóng plasmon dựa trên vi cơ phiến silic đơn tinh thể chuẩn; cấu trúc kênh điện môi dẫn sóng quang tử có thể có mặt cắt ngang bất kỳ khi sử dụng công nghệ ăn mòn ướt hoặc ăn mòn khô. Kênh kim loại dẫn sóng plasmon được chế tạo sử dụng các kỹ thuật lắng đọng như phún xạ, lắng đọng bằng chùm tia điện tử, v.v. trực tiếp trên kênh điện môi dẫn sóng quang tử để tạo khe hẹp dẫn sóng plasmon lai. Kênh kim loại dẫn sóng plasmon được treo bằng màng cơ học làm từ vật liệu như silic đa tinh, S3N4. Kênh dẫn sóng plasmon tùy biến đặc trưng.