CẢM BIẾN KHÍ (NH3) DẠNG MÀNG MỎNG (SnO2/WO3) VÀ QUY TRÌNH CHẾ TẠO
- Thứ hai - 02/02/2026 03:17
- In ra
- Đóng cửa sổ này
Tác giả chính: Nguyễn Văn Toán
PTN Cảm biến và Thiết bị thông minh
Ngày cấp: 23/12/2019
Tóm tắt: Giải pháp hữu ích “Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng (SnO2/WO3) và quy trình chế tạo” được tạo ra trên mặt phẳng đế Si/SiO2 (1, 2), bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt song song và lò vi nhiệt bao quanh (3, 4), lớp vật liệu màng mỏng SnO2 (5) có chiều dày (40 nm) được phủ lên điện cực và lớp vật liệu màng mỏng WO3 (6) dày trong khoảng (5 ÷ 15 nm) được phủ trực tiếp lên màng mỏng SnO2 và điện cực. Giải pháp hữu ích này khác biệt ở chỗ sử dụng trực tiếp màng mỏng trên màng mỏng. Đặc biệt, việc biến tính này đã tạo ra các vật liệu có khả năng tăng cường độ đáp ứng khí của vật liệu, ngoài ra cũng làm giảm nhiệt độ làm việc của vật liệu màng mỏng ô xit kim loại bán dẫn.
PTN Cảm biến và Thiết bị thông minh
Ngày cấp: 23/12/2019
Tóm tắt: Giải pháp hữu ích “Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng (SnO2/WO3) và quy trình chế tạo” được tạo ra trên mặt phẳng đế Si/SiO2 (1, 2), bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt song song và lò vi nhiệt bao quanh (3, 4), lớp vật liệu màng mỏng SnO2 (5) có chiều dày (40 nm) được phủ lên điện cực và lớp vật liệu màng mỏng WO3 (6) dày trong khoảng (5 ÷ 15 nm) được phủ trực tiếp lên màng mỏng SnO2 và điện cực. Giải pháp hữu ích này khác biệt ở chỗ sử dụng trực tiếp màng mỏng trên màng mỏng. Đặc biệt, việc biến tính này đã tạo ra các vật liệu có khả năng tăng cường độ đáp ứng khí của vật liệu, ngoài ra cũng làm giảm nhiệt độ làm việc của vật liệu màng mỏng ô xit kim loại bán dẫn.