Đại học Bách khoa Hà Nội

https://hust.edu.vn

Hệ thống tản nhiệt cho các bộ vi đốt nóng trong kênh dẫn sóng quang tùy biến

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp: 28/10/2025
Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến vi hệ thống tản nhiệt cho các bộ vi đốt nóng trong kênh dẫn sóng quang tùy biến. Hệ thống bao gồm các kênh dẫn chất lỏng làm lạnh bao quanh các kênh dẫn sóng/các bộ phận chức năng cần đốt nóng. Hệ thống kênh chất lỏng làm lạnh được cách ly với các kênh dẫn sóng điện môi, các thành phần chức năng cần đốt nóng bằng các lớp cách điện. Bộ vi đốt nóng có thể chỉ có chức năng nung nóng hoặc vừa nung nóng và làm một thành phần của một linh kiện chức năng. Hệ thống tản nhiệt có thể được chế tạo hoàn toàn dựa trên công nghệ vi điện tử, vì vậy quá trình sản xuất hàng loạt và chế tạo tích hợp với các linh kiện khác là hoàn toàn thực hiện được. Hệ thống tản nhiệt cho các bộ vi đốt nóng có thể ứng dụng trong điều khiển chiết suất của kênh dẫn sóng điện môi, hoặc kênh dẫn sóng điện môi trong các kênh dẫn sóng plasmonic khe hẹp lai hoặc trong các cảm biến v.v.
Bạn đã không sử dụng Site, Bấm vào đây để duy trì trạng thái đăng nhập. Thời gian chờ: 60 giây