Đại học Bách khoa Hà Nội

https://hust.edu.vn

Quy trình chế tạo kênh dẫn sóng plasmon dạng kênh

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp: 13/01/2020
Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến quy trình cho chế tạo kênh dẫn sóng plasmon dạng kênh. Kênh dẫn sóng plasmon bao gồm một kênh silic, trong kênh silic này có một kênh dùng để dẫn sóng plasmon và một kênh không khí có thể dùng để dẫn chất lỏng. Kênh silic này được phủ trực tiếp một lớp kim loại hoặc qua một lớp oxit để tạo kênh dẫn sóng plasmon. Kênh silic được chế tạo bằng kỹ thuật khắc và ăn mòn dị hướng ướt silic đơn tinh thể. Lớp oxit được tạo bằng phương pháp oxy hóa hoặc lắng đọng vật lý hoặc hóa học. Lớp kim loại có thể được lắng đọng khi sử dụng phương pháp lắng đọng vật lý như phún xạ, bốc bay
Bạn đã không sử dụng Site, Bấm vào đây để duy trì trạng thái đăng nhập. Thời gian chờ: 60 giây