CẢM BIẾN KHÍ (NH3) DẠNG MÀNG MỎNG (SnO2/WO3) VÀ QUY TRÌNH CHẾ TẠO

Đại diện Nhóm nghiên cứu: TS. Nguyễn Văn Toán

Cảm biến khí NH3 dạng màng mỏng (SnO2/WO3) và quy trình chế tạo” được tạo ra trên mặt phẳng đế Si/SiO2 bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt song song và lò vi nhiệt bao quanh lớp vật liệu màng mỏng SnO2 có chiều dày (40 nm) được phủ lên điện cực và lớp vật liệu màng mỏng WO3 dày trong khoảng (5 ÷ 15 nm) được phủ trực tiếp lên màng mỏng SnO2 và điện cực.