Hệ thống khắc và in mẫu 3 chiều chế tạo các cấu trúc micro/nano

Đại diện Nhóm nghiên cứu: PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng

PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử

Tên đề tài: Nghiên cứu chế tạo vật liệu plasmonic hai chiều ứng dụng công nghệ khắc cơ học 

Cấu trúc đầu dò khắc được tạo từ vật liệu silic 
Đầu dò khắc dạng đơn mũi dò hoặc đa mũi dò
Kích thước mỗi mũi dò: từ 10 nm – 100 nm