Cảm biến khí NH3 dạng màng và thiết bị đo khí NH3

Thứ bảy - 31/01/2026 22:14

Tác giả chính: Đặng Đức Vượng
Viện Vật lý Kỹ thuật
Ngày cấp: 20/11/2018
Tóm tắt: Sáng chế đề xuất cảm biến khí NH₃ dạng màng gồm chip cảm biển được tạo trên một mặt đế SiO₂/Si kích thước 5 x 5 mm² gồm các thành phần bao gồm 01 hệ điện cực răng lược Pt, 01 lò vi nhiệt Pt bao quanh hệ điện cực, lớp vật liệu nano WO³ có kích thước hạt 20 nm được phủ lên trên hệ điện cực răng lược Pt; chip cảm biến được đóng gói trong vỏ cho bằng sắt và có bốn chân đưa ra ngoài. Sáng chế đề xuất thiết bị đo khí NH³ sử dụng cảm biến khí NH³ dạng màng và có tính năng lưu trữ dữ liệu đo ra thẻ nhớ ngoài (SD card, MMC card).

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn