QUY TRÌNH CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ H2 VÀ NH3 TRÊN CƠ SỞ MÀNG MỎNG NANO 2 LỚP Pt/SnO2

Thứ ba - 24/03/2026 23:27

Tác giả chính: Nguyễn Văn Duy
PTN Cảm biến và Thiết bị thông minh
Ngày cấp văn bằng: 02/03/2026
Tóm tắt: Giải pháp hữu ích “Quy trình chế tạo Cảm biến khí H₂ và NH₃ trên cơ sở màng mỏng nano 2 lớp Pt/SnO₂” trên cơ sở màng mỏng nano 2 lớp được tạo ra trên mặt phẳng đế silic ô xít, bao gồm các thành phần như điện cực Cr/Pt/ITO. Vật liệu nhạy khí là màng mỏng nano 2 lớp Pt/SnO₂ được phún xạ hoạt hóa và phún xạ trực tiếp trên hai đầu điện cực như trên hình 1, 2 và 3. Giải pháp hữu ích này khác biệt ở chỗ là sử dụng trực tiếp của màng mỏng nano 2 lớp là platinum và ô xít thiếc. Việc sử dụng đồng thời màng mỏng nano 2 lớp là kim loại kết hợp với ô xít kim loại này đã tạo ra hệ vật liệu có khả năng nhận biết được 2 loại khí khác nhau. Bằng cách thay đổi nhiệt độ làm việc của cảm biến ta biết được khí đó là khí H₂ hay là khí NH₃. Ngoài ra việc kết hợp màng mỏng này còn cho tăng cường độ đáp ứng khí, tính chọn lọc của vật liệu. Với đặc tính thu được như trên, cảm biến rất có tiềm năng ứng dụng trong phân tích và nhận dạng hỗn hợp khí, phù hợp với các yêu cầu kết nối trong IoT.

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn