Quy trình chế tạo cảm biến khí so2 ở nhiệt độ phòng dựa trên cảm biến vi cân tinh thể thạch anh phủ vật liệu thanh nano ô xít sắt γ-Fe2O3

Tác giả chính: PGS.TS. Nguyễn Văn Quy
Trường Vật liệu 
Ngày cấp văn bằng: 25/06/2026
Tóm tắt:
Giải pháp hữu ích đề xuất quy trình chế tạo cảm biến khí trên cơ sở thanh nano ô xít sắt γ-Fe2O3 tổng hợp bằng phương pháp hóa học sau đó phun trực tiến lên cảm biến vi cân tinh thể thạch anh 5 MHz (QCM - 5 MHz) để phát hiện khí SO2 nồng độ siêu thấp tại nhiệt độ phòng. Vật liệu nhạy khí là tổ hợp thanh nano γ-Fe2O3 được phun trực tiếp trên điện cực của cảm biến vi cân tinh thể thạch anh. Giải pháp theo giải pháp hữu ích này khác biệt ở chỗ, chỉ cần một công đoạn chế tạo là thanh nano γ-Fe2O3 sau đó phun lên cảm biến vi cân tinh thể thạch anh là thành công trong việc chế tạo được cảm biến đo khí độc SO2 tới nồng độ 2,5 ppm tại nhiệt độ phòng. Giải pháp hữu ích có tiềm năng ứng dụng rất lớn cho sự kiểm soát và cảnh báo khí độc liên quan trực tiếp tới sức khỏe con người.