Hệ thống vi thấu kính tùy biến nhiều bậc tự do dựa trên chấp hành tĩnh điện

Chủ nhật - 01/02/2026 04:24

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp: 16/04/2025
Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến hệ vi thấu kính tùy biến nhiều bậc tự do dựa trên chấp hành tĩnh điện. Vi thấu kính có thể chuyển động ngoài mặt phẳng khi sử dụng chấp hành kiểu tụ dạng răng lược. Vi thấu kính được tích hợp trên một hệ vi dịch chuyển theo 2 hướng trực giao x và y trong mặt phẳng, đồng thời hệ vi dịch chuyển cũng có thể quay xung quanh hai trục trực giao x và y. Chuyển động tịnh tiến và chuyển động quay của hệ vi dịch chuyển được thực hiện bằng chấp hành tĩnh điện kiểu tụ răng lược. Vi thấu kính có thể được chế tạo từ các vật liệu rắn hoặc chất lỏng quang học và màng chấp hành. Vi thấu kính có thể có dạng bán cầu hoặc hai bán cầu ghép lại với nhau; khoảng cách cũng như vị trí tương đối giữa hai vi thấu kính dạng bán cầu có thể được điều khiển dựa trên chấp hành tĩnh điện. Đối với vi thấu kính dựa trên quang học chất lỏng, việc thay đổi tiêu cự của vi thấu kính có thể được điều khiển bằng lực tĩnh điện. Ứng dụng của hệ thống vi thấu kính có thể trong các thiết bị hiển thị vi ảnh hoặc các thiết bị vi cơ điện tử khác.

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn