Lò xo đàn hồi vi cơ cho chuyển động thẳng đứng và bộ chấp hành tĩnh điện

Thứ bảy - 31/01/2026 21:31

Tác giả chính: Chu Mạnh Hoàng
PTN Công nghệ vi hệ thống và nano quang tử
Ngày cấp văn bằng: 14/07/2023

Tóm tắt: Sáng chế đề cập đến cơ cấu bao gồm hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ chuyển động thẳng đứng và bộ chấp hành tĩnh điện, trong đó hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ bao gồm đĩa tâm dạng hình tròn, các thanh dầm lo xo có dạng cung tròn được kết cặp cơ với nhau thông qua các thanh nối cứng, tạo thành cấu trúc có dạng vòng tròn đồng tâm và trong đó các thanh dầm lo xo đối xứng quay qua tâm của đĩa tâm, hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ này có một đầu nối với đĩa tâm và đầu còn lại được nối với cơ cấu chấp hành hoặc đế khác thông qua các thanh nối. Bộ chấp hành tĩnh điện bao gồm các điện cực tụ, trong đó đĩa tâm được sử dụng làm một điện cực tụ trong khi đối diện với nó là một điện cực tụ khác, hai bản cực tụ này được đặt cách nhau một khe hẹp, độ dịch chuyển của hệ dao động phụ thuộc vào chiều rộng khe hẹp, hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ được dao động bằng cách áp dụng một điện áp lên hai bản cực của tụ. Ngoài ra, bộ chấp hành tĩnh điện, trong đó các điện cực tụ bao gồm các điện cực tụ chuyển động, các điện cực tụ cố định được bố trí cài vào nhau (kiểu cài răng lược), chuyển động song song được với nhau.

Những tin mới hơn

Những tin cũ hơn